集聚全球頂級專家、行業(yè)精英，匯集行業(yè)新技術、新產品、新成果……昨天，隨著第十四屆中國國際納米技術產業(yè)博覽會開幕，全球納米產業(yè)進入“金雞湖時刻”。2400多家納米技術相關企業(yè)集中亮相，爭相展示各自前沿技術和拳頭產品。金雞湖成為連接全球納米領域“產、學、研、用”各界的橋梁和紐帶。

蘇企自研設備實現高精度無損檢測

面對高精度鋰電池，如何能在無損電池極片表面的情況下實現又快又準的檢測？展會上，江蘇自貿區(qū)蘇州片區(qū)企業(yè)托托科技（蘇州）有限公司帶來“新解法”。

“傳統檢測工具很多采用電子束或探針掃描檢測樣品，最大缺點是會損傷樣品。我們今年3月推出的檢測設備，以光學非接觸方式進行檢測，可以無損、高精度判斷高精度金屬表面、生物芯片、半導體芯片等產品的工藝水平。”該款光學檢測顯微鏡產品線銷售代表丁一航介紹，產品在X、Y軸方向上的分辨率與傳統光學顯微鏡一致，但在Z軸上精度非常高，可達0.1納米的原子級精度。“光學干涉原理決定了檢測精度，這也是我們的核心技術優(yōu)勢。”

技術能力不亞于國外產品，價格僅為其六七成……展臺前，托托科技人氣十足。丁一航告訴記者，這款檢測顯微鏡主要面向半導體等領域的產品研發(fā)，技術門檻較高，在光學軟件算法、核證等方面優(yōu)勢明顯，實現對國外產品的國產化替代。“我們的產品既能滿足不同場景的觀察模式，也可實現亞納米級別的分析結果，獨有的AI算法還能無延遲輸出分析結果，能滿足各類特點場景的檢測任務。”丁一航說。

激光直寫光刻機彰顯核心競爭力

今年，園區(qū)蟬聯“MEMS傳感器十大園區(qū)”榜首，實現四連冠。本屆納博會上，以微納制造技術加速新型材料和工藝創(chuàng)新的蘇大維格，帶來自主研發(fā)的激光圖形化直寫設備MiScan。

MiScan200激光直寫系統，是對感光材料進行微納米結構制版的重要設備，是IC集成電路和微納光電子器件產品研發(fā)與制造的核心裝備之一。現場工作人員告訴記者，MiScan200激光直寫系統使用一系列首創(chuàng)方法，能有效突破直寫圖形納米級精度和設備運行穩(wěn)定性一致性的問題，滿足光電子行業(yè)的技術需求，為光子材料/器件的創(chuàng)新提供不可或缺的原創(chuàng)手段。“這款裝備曾獲蘇錫常首臺（套）重大裝備認定，在兩微米左右精度下，每分鐘光刻面積可達600平方毫米。”工作人員說。

據了解，蘇大維格是業(yè)內少數擁有微納光學制造完整產業(yè)鏈的企業(yè)之一，現階段公司的微納光學制造技術主要應用于公共安全和新型3D印材、消費電子新材料和泛半導體等領域。目前，園區(qū)成立了納米加工平臺、MEMS中試平臺、測試分析平臺、微系統平臺封裝等產業(yè)鏈關鍵支撐平臺，還成立全國首個MEMS產業(yè)知識產權聯盟，啟動全國首個MEMS產業(yè)專利池，在聲學傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器等領域形成先發(fā)優(yōu)勢。

國外展團為本地產業(yè)帶來全新視角

本屆納博會更注重產業(yè)鏈全景圖的呈現。以MEMS產業(yè)鏈為例，匯集歌爾、漢威、敏芯等器件設計企業(yè)，中國科學院納米所、松山湖實驗室、杭州士蘭微等16家量產/代工企業(yè)，勝科納米、微納科技、計量所等測試分析企業(yè)，科磊半導體、北方華創(chuàng)、上海微電子裝備、卡爾蔡司等國內外設備企業(yè)。

“我們希望通過升級本屆納博會的規(guī)模，擴大園區(qū)納米技術應用及新材料領域‘朋友圈’。”蘇州納米科技發(fā)展有限公司相關負責人介紹，今年2月和7月，納博會主席團代表攜企業(yè)分赴日韓參加今年日本納米大會、第22屆韓國納米大會，成功邀請日韓企業(yè)組團參展今年納博會。歐洲、伊朗等國際特色展團也將現場參展，集中展示各自國家在納米技術領域的最新成果和應用，為本地產業(yè)帶來全新視角。

本屆納博會邀請到國內外院士20多位、政企及院校專家學者450余位。主報告及分論壇報告中，國際演講嘉賓約占嘉賓總數30%。“專家大咖進行思想碰撞，不僅會帶來最前沿的技術視角，也將加快推動園區(qū)在納米技術應用及新材料領域更高水平的國際合作，為加快建設開放創(chuàng)新的世界一流高科技園區(qū)集聚更多智慧。”該負責人說。

駐園區(qū)首席記者 董捷

《蘇州日報》2024年10月24日A02版